| Modelo |
PDC210 |
| Modo Plasma |
PDC-210(RIE and DP) |
| Unidad Principal |
| Cámara de Aluminio |
Dimensiones Interiores:
400mm ancho×250mm profundidad×150mm altura |
| Electrodo |
Plataforma con
paralelo plano: 230mm ancho×170mm profundidad |
| Indicador de Vacío |
Manómetro – indicador
de carga eléctrica almacenada |
| Sistema de reacción a gas |
Dos sistemas
(Ar,O2) |
| Controlador |
Controlador programable |
| Pantalla |
Pantalla LCD
con control táctil |
| Suministro de poder de frecuencia
de radio |
| Entrada eléctrica |
AC 200V, trifásica, 15A (50/60
Hz) |
| Salida de poder
de la frecuencia de radio |
500W |
| Oscilador de referencia |
Oscilador de cuarzo |
| Frecuencia de
oscilación |
13.56 MHz |
| Ajustes de encajamiento |
Sintonización automática |
| Sistema de Descarga (Bomba
de Vacío) sólo para modelo PDC210 Opcional |
| Desplazamiento |
Total 345 litros/min. |
| Abastecimiento
de entrada de energía |
Trifásico, AC200V, 4A, 50/60
Hz |
| Configuración
de entrada |
NW25 |
| Configuración
de salida |
NW25 |
| Sistemas de Gas |
| Purga de gas |
Nitrógeno (N2) y un regulador
(3 kgf/cm2) con manómetro |
| Reacción gas G1 |
Oxígeno (O2) y un controlador
de flujo de masa |
| Reacción gas G2 |
Argon (Ar) y un controlador
de flujo de masa (100 secm) |
| Mecanismos de Seguridad |
| Sistemas de Protección |
(1)Bomba de observación de
vacío y generador de observación RF para corriente por medio
de Protector Térmico de relé magnético.
(2) Oscilador de cuarzo. Cuando la unidad de acoplamiento tiene
falta del mismo, protege al oscilador de cuarzo.
(3) Panel cierre interno en la puerta. Crea un switch de cierre
interno.
|
| Acciones contra
los problemas en la bomba de vacío. |
El absorbedor de plasma toma
acciones de contrarrestado listadas abajo y muestra un mensaje
de alarma en su pantalla cuando algo malo sucede en la bomba
de vacío.
*La válvula principal cierra * el suministro de la válvula
de gas* La válvula de aislamiento se cierra* El oscilador se
detiene el suministro de energía* El proceso de tratamiento
se detiene* La alarma comienza a sonar* El temporizador del
proceso de tratamiento se detiene. |
| UTILIDADES REQUERIDAS |
| SUMINISTRO DE ENERGIA |
| Unidad principal
con bomba de vacío |
PDC-210: trifásica, AC200V,
15 A, 50/60Hz
(con un cable accesorio de poder de 3 metros de longitud, con
un accesorio de un cable de transmision y terminales estilo
– rizo expuesto de 8 mm de longitud) |
| Gases |
| Purga de gas |
Nitrógeno (N2) (Alimentación
de presión: 2 a 7 kgf/cm2) |
| Gas de Reacción
G1 |
Oxígeno (O2) (Alimentación
de presión: 1.5 kgf/cm2) |
| Gas de Reacción
G2 |
Argon (Ar) (Alimentación de
presión: 1.5 kgf/cm2) |
| Puerto de conexión |
Uniones manparo de 1/4" swagelok
(SS-400-61) |
| |
Nota: Reguladores de presión,
filtros y otros dispositivos de protección deberán ser preparador
por otros. |
| Diámetro de Conexión del
Ducto de Descarga (y Puerto de entrada de energía) |
| Puerto de entrada
de energía de la bomba de vacío |
NW25 (con manguera flexible
de acero inoxidable de un metro de longitud) |
| Puerto de salida
de energía de la bomba de vacío |
NW25 |
| |
Nota: Cada puerto tiene un
conector diseñado para una manguera flexible. |
Secadora
Plasma de Gas PDC210
